Analyse von Prozessbädern in der Solarzellenherstellung ProcessLab – Überwachung von nasschemischen Prozessen in der Solarzellenherstellung Texturierungsprozesse zuverlässig und effizient mit ProcessLab überwachen Die Herstellung von Solarzellen ist ein sensibler und konti-Einsatzbereiche von ProcessLab 02 nuierlich ablaufender Prozess. Überwachung und Prozess-Texturierungsprozesse führung sind die wichtigsten Instrumente, um Kapazität, Die Texturierung entfernt einerseits Verunreinigungen auf Qualität und Kosten zu optimieren. Damit einher geht die der Waferoberfl äche und erhöht andererseits die lichtab-Forderung nach Rückverfolgbarkeit und einer konformen sorbierenden Eigenschaften einer Solarzelle. Die absolute Prozessdokumentation. Dank bewährter und robuster Konzentrationsmessung der relevanten Komponenten Labortechnik meistert ProcessLab diese Herausforde- (z.B. HF und HNO ) durch Titration ermöglicht eine prä- 3 rungen optimal. Mit ProcessLab ist die automatische zise und effi ziente Kontrolle dieses Kernprozesses. Zudem Überwachung von Grenzwerten ebenso selbstverständ-können unmittelbar Rückschlüsse auf den Zustand der lich wie die Möglichkeit, mehrere verschiedene Parame-verwendeten Bäder gezogen werden. ter zu analysieren. Spül- und Vorbereitungprozesse ProcessLab – Konzept und Funktion Spül- und Vorbereitungsbäder sorgen für eine defi nierte Jedes System ist massgeschneidert. Es wird für die spezi-Beschaffenheit der Oberfl ächenstruktur. Eine regelmäs-fi schen Anforderungen des Prozesses konzipiert und indi-sige analytische Kontrolle ermöglicht eine frühzeitige viduell produziert. Dieses fl exible Konzept ermöglicht eine Er kennung von verbrauchten Reinigungsmedien. Aus-nahezu nahtlose Integration des Systems auch in bereits serdem können Verschleppungen vorhergehender Pro-bestehende Prozesse. zessschritte rechtzeitig erkannt und vorkehrende Mass-nahmen getroffen werden. Verunreinigungen lassen sich Zeitpunkt und Umfang einer Messung werden durch mit pH- und Leitfähigkeitsmessung weder identifi zieren den Anwender bestimmt. Da ProcessLab nicht kalibriert noch quantifi zieren, mit ProcessLab hingegen ist dies werden muss, steht es jederzeit (auch im Schichtbetrieb) meist möglich. für eine effiziente und präzise Analytik unterschiedlichs-ter Proben aus Texturierungs-, Behandlungs- und Spül-Weitere Parameter prozessen zur Verfügung. Messergebnisse werden un-Das fl exible Konzept erlaubt eine einfache Ergänzung mittelbar nach der Analyse in der integrierten Datenbank um zusätzliche Messparameter. Zahlreiche Schnittstellen gespeichert und im Kontrollchart grafisch dargestellt. ermöglichen ausserdem eine unkomplizierte Einbindung Die Daten stehen zudem via Ethernet oder als analoges von Drittgeräten, deren Messwerte ebenfalls zur Wei-4 - 20 mA Signal zur Verfügung. terverarbeitung und Speicherung zur Verfügung stehen (intern und extern). 03 Kostensenkung durch optimale Ausbeute Bereits kleine Abweichungen vom Prozessfenster können Ausbeute bei geringerem Chemikalieneinsatz. Ausschuss-zu einem erhöhten Effi zienzverlust des Endproduktes füh-kosten werden verringert und die Standzeiten der Pro-ren. ProcessLab ermöglicht durch eine genaue Analytik zessbäder erhöht. Dies schont Ressourcen und erhöht die eine präventive Prozessführung und somit eine höhere Wettbewerbsfähigkeit. Ihre Vorteile auf einen Blick • Massgeschneiderter Analysator zur umfangreichen Prozesskontrolle • Längere Badstandzeiten durch optimale Ausnutzung des Prozessfensters • Kalibrationsfreies Absolutverfahren • Überwachung mehrerer Produktionslinien • Rückverfolgbarkeit und konforme Dokumentation dank integriertem Datenmanagement • Einbindung und Steuerung von Drittgeräten inkl. Datenübernahme • Export und Import von Daten via Ethernet oder 4 - 20 mA Schnittstellen Applikationsfelder Alkalische und saure Texturierung HF/HNO /H SiF 3 2 6 H SO 2 4 Essigsäure Alkalinität Acidität Waschen und Reinigen pH und Leitfähigkeit Spülzusätze Komplexbildner (NTA, EDTA,...) Spülen pH und Leitfähigkeit Alkalinität Acidität Hydrophilisierung H O 2 2 Alkalinität Acidität Direktmessungen pH und Leitfähigkeit Parameter von Drittgeräten Bestellinformationen 04 ProcessLab ist modular aufgebaut und besteht immer Optionen aus einem kompletten Basisgerät und evtl. ergänzenden Es steht ein vielfältiges Programm von ergänzenden Kom - Erweiterungsmodulen. Das Basisgerät beinhaltet alle zur ponenten zur Verfügung. Nachfolgend nur eine kleine korrekten Funktion notwendigen Systemkomponenten, Aus wahl: muss aber noch um die an der Frontseite montierten Nass teilmodule bzw. I/O-Komponenten ergänzt werden. - ProcessLab-Digitalein- und -ausgang 24 V DC - ProcessLab-Analogein- und -ausgang 4...20 mA 2.875.0510 875 ProcessLab-Basisgerät, Touchscreen, - ProcessLab-Relaisausgang Türanschlag links - ProcessLab-Magnetventilmodul 2.875.0520 875 ProcessLab-Basisgerät, Touchscreen, - Kanister mit Flüssigkeitsstandsensor in verschiedenen Türanschlag rechts Grössen 6.7201.200 ProcessLab MDM Controller mit 1 Messeingang 6.7201.210 ProcessLab MDM Controller mit 2 Messeingängen www.metrohm.com 6.7201.300 ProcessLab MDM Controller pH 6.7201.400 ProcessLab MDM Controller Leitfähigkeit G, CH-9101 Herisau ohm A , Druck Metr SW Bitte kontaktieren Sie ihre lokale Metrohm Vertretung für weitere Informationen über ProcessLab. Dank des fl exib-len und modulare Konzepts kann es individuellen Bedürf- Änderungen vorbehalten Gestaltung Ecknauer+Schoch A 8.875.5001DE – 2009-06 nissen optimal angepasst werden.